SF6氣體不溶于水和變壓器油，在熾熱的溫度下，它與氧氣、氬氣、鋁及其他許多物質不發(fā)生作用。但在電弧和電暈的作用下，SF6氣體會分解，產(chǎn)生低氟化合物，這些化合物會引起絕緣材料的損壞，且這些低氟化合物是劇毒氣體。SF6的分解反應與水分有很大關系，因此要有去潮措施。
在電弧高溫作用下，很少量的SF6會分解為有毒的SOF2、SO2F2、SF4和SOF4等，但在電弧過零值后，很快又再結合成SF6。因此，長期密封使用的SF6，雖經(jīng)多次滅弧作用，也不會減少或變質。電弧分解物的多少與SF6中所含水份有關，因此，把水份控制在規(guī)定值下是十分重要的。常用活性氧化鋁或活性炭、合成沸石等吸附劑，清除水分和電弧分解產(chǎn)物。
SF6氣體混入空氣時，會使絕緣強度下降，因此斷路器及其貯氣設備應保持密封。
SF6容易液化，液化溫度與壓力有關，壓力升高時液化溫度也增高，所以SF6氣體都不采用過高的壓力，以使其保持氣態(tài)。雙壓式斷路器，高壓側壓力為1.5MPa左右；單壓式斷路器，壓力為0.3—0.5Mpa。
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